电子束曝光机采购意向公告
26-06-05
电子束曝光机采购意向公告
采购单位 | 南方工业技术研究院（深圳） |
项目名称 | 电子束曝光机 |
预算金额（万元） | 1630万元 |
采购品目 | 电气物理设备 |
采购需求概况 | 设备用于微纳器件的高精度图形制备与工艺过程控制，可实现纳米级分辨率光刻加工；具备高端的图形制备功能及加工过程可视化指引，支持复杂结构与大面积图形的制备需求，满足微纳制造相关学科未来发展需要。 |
联系人 | 许老师 |
联系方式 | 电话：0755-23306690 邮箱：cgzy@siitsz.com |
预计采购时间 | 2026年6月 |
备注 | 无 |
本项目的采购意向及后续采购公告具体信息在深圳市交易集团官网 --【交易公告】模块发布。
深圳市交易集团官网（https://www.szexgrp.com/jyfw/details.html?contentId=20370347&channelId=2850&crumb=zfcg）
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