行业共性技术服务

行业共性技术服务

Industry common technology services

超精密加工平台

由南方科技大学材料系程鑫教授牵头组建，引进电子束光刻机(EBL)、聚焦离子束加工(FIB)设备、离子束抛光机设备等核心设备，在精加工实验室形成纳米级精度加工、高精度检测等能力，在微纳加工实验室形成高精度光刻图案化、高分辨率微纳米结构检测等能力，提供复杂精密元件与零部件的快速加工打样、成型、检测、原型验证、技术攻关等服务。

精加工车间

2016年由南科大统筹创建;投入约2000万元;

目前拥有20余台套先进精加工设备与软件，包括高精密3D打印、慢走丝线切割机、数控车床等。

微纳加工平台

2013年由南科大统筹创建;投入约7000万元;

目前拥有60余台套先进微纳加工工艺设备，建立了薄膜沉积、光刻、刻蚀、集成工艺等工艺菜单库;

精密光学中心

2023年南方科技大学获深圳市支持筹建精密光学中心，面向粤港澳大湾区提供光学加工、精密检测、光学镀膜全流程服务。

其他资源

目前南科大各级院系建立大型仪器共享平台，共有700余台套设备在平台共享，价值超10亿;其中包含多台套精密加工、检测等设备资源;

代表设备

Arcam EBM A2X 3D打印机

Arcam EBM A2X 3D打印机

蒸发镀膜机

蒸发镀膜机

磁流变抛光设备

磁流变抛光设备

立式斐索干涉仪

立式斐索干涉仪

光刻模块

光刻模块

刻蚀模块

刻蚀模块

薄膜模块

薄膜模块

主要服务功能

面向半导体集成电路、泛半导体、医疗设备、精密仪器、大科学装置等领域核心精密元件和零部件需求，建设超精密加工公共技术服务平台，以解决需求企业面临的超精密加工资源缺乏、加工经验不足、技术创新乏力等问题，为行业发展助力。

图片名称

定制化服务

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人工咨询

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