超精密加工平台
由南方科技大学材料系程鑫教授牵头组建,在精加工实验室形成纳米级精度加工、高精度检测等能力,在微纳加工实验室形成高精度光刻图案化、高分辨率微纳米结构检测等能力,提供复杂精密元件与零部件的快速加工打样、成型、检测、原型验证、技术攻关等服务。
平台资源
精加工车间
2016年由南科大统筹创建;投入约2000万元;
目前拥有20余台套精加工设备与软件,包括高精密3D打印、慢走丝线切割机、五轴联动加工中心、数控车床等;
微纳加工平台
2013年由南科大统筹创建;投入约7000万元;
目前拥有60余台套微纳加工工艺设备,建立了薄膜沉积、光刻、刻蚀、集成工艺等工艺菜单库;
精密光学中心
2023年由南科大在市里支持下筹建公共服务平台;
计划在2026年设备到位后,具备全流程精密光学仪器设备,覆盖多种口径、形状、材料、波段的光学加工、检测、镀膜能力;
其他资源
目前南科大各级院系建立大型仪器共享平台,共有700余台套设备在平台共享,价值超10亿;其中包含多台套精密加工、检测等设备资源;
微纳加工代表性案例
测试加工服务联系方式:
何老师 13068850862