由南方科技大学材料系程鑫教授牵头组建，在精加工实验室形成纳米级精度加工、高精度检测等能力，在微纳加工实验室形成高精度光刻图案化、高分辨率微纳米结构检测等能力，提供复杂精密元件与零部件的快速加工打样、成型、检测、原型验证、技术攻关等服务。

平台资源

精加工车间

2016年由南科大统筹创建;投入约2000万元;

目前拥有20余台套精加工设备与软件，包括高精密3D打印、慢走丝线切割机、五轴联动加工中心、数控车床等;

微纳加工平台

2013年由南科大统筹创建;投入约7000万元;

目前拥有60余台套微纳加工工艺设备，建立了薄膜沉积、光刻、刻蚀、集成工艺等工艺菜单库;

精密光学中心

2023年由南科大在市里支持下筹建公共服务平台;

计划在2026年设备到位后，具备全流程精密光学仪器设备，覆盖多种口径、形状、材料、波段的光学加工、检测、镀膜能力;

其他资源

目前南科大各级院系建立大型仪器共享平台，共有700余台套设备在平台共享，价值超10亿;其中包含多台套精密加工、检测等设备资源;

代表设备

Arcam EBM A2X 3D打印机	五轴五联动高端数控机床	蒸发镀膜机	磁流变抛光设备

立式斐索干涉仪	光刻模块	刻蚀模块	薄膜模块

代表性案例

精密加工代表性案例

超声波微小工具头加工	高分子材料加工	微棱锥阵列铜电极加工	深小孔加工

非球面曲面镜面加工	半开式整体叶轮和叶片

微纳加工代表性案例

超表面透镜	Ⅲ-Ⅴ表面结构及激光器	纳米线超导量子干涉器件	第三代半导体GaN器件

微纳光学芯片&柔性光棚	生物微流控&微流控芯片

测试加工服务联系方式：

何老师  13068850862